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年产1000吨多晶硅项目介绍
目 录
一、项目概况
二、国内外多晶硅生产现状及发展趋势
1、国外多晶硅生产能力简况
2、国内多晶硅生产能力不相适应
3、国内芯片产业方兴未艾
4、国外多晶硅生产技术出现向外转移的趋势
三、多晶硅市场现状与预测
1、多晶硅市场供不应求
2、多晶硅市场发展预测
四、引进多晶硅生产线的关键技术及产品质量
1、目前世界最先进的技术
2、世界一流的产品质量
五、多晶硅生产的原料及能源供应
1、生产原料
2、电力供应
六、项目总投资及经济效益分析
1、项目总投资
2、经济效益分析
七、风险及对策
年产1000吨多晶硅项目介绍
一、项目概况
引进美国年产1000吨多晶硅的生产线,是目前世界最先进的多晶硅生产线。该条生产线采用德国西门子公司的世界一流的多晶硅生产技术,并进行世界多晶硅生产最新技术的整合。
项目总投资约13亿人民币,建设期18个月。投资主要由美国TF投资集团和天宝方兴公司负责从国外融资解决。
项目设计规模为1000吨/年,其中:区熔用多晶硅200吨/年,电路级多晶硅600吨/年,太阳能电池用多晶硅276万片/年。
项目年综合耗电量2.5亿度,电价若控制在0.24元/度以下,吨成本控制在25.4万元以下,税后利润率可达到17.6%,含建设期7年便可收回投资。
二、国内外多晶硅生产现状及发展趋势
1、国外多晶硅生产能力简况
目前世界生产多晶硅最先进的国家是美国、德国、日本和意大利等少数几个发达国家,也是世界生产多晶硅的大国,以上四个国家产量的总和占世界多晶硅总产量的90%以上,其生产的核心技术多是德国西门子公司的改良技术。
2002年预测多晶硅产量为20200吨,比上年17650吨增长14%。其中半导体用15700吨,同比增长9%,太阳能电池用4500吨,同比增长36%。
2002年世界多晶硅产量预测表(吨)
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公 司
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生产能力
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实际产量
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德山(日本)
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4800
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3700 |
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三菱材料多晶硅(日本)
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1600
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1300 |
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住友钛(日本)
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700
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700
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| 三菱多晶硅(美国)
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1000
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1000
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赫姆洛克半导体(美国)
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6100
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5300
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Asiml的比特工厂(美国)
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2400
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2400
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SGS(Asiml合资公司)(美国)
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2000
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300
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互克西尔·特罗尼克(德国)
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4200
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3500
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MEMC帕萨蒂纳(美国)
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2700
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1000
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MEMC(意大利)
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1000
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1000
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合 计
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26500
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20200
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2、国内多晶硅生产能力不相适应
我国多晶硅工业虽起步不晚,但发展缓慢。生产、技术、工艺落后,设备陈旧,生产规模小,物耗、能耗高,产品成本高,质量难以保证,和国际水平相比差距较大。现在国内仅有四川峨嵋半导体材料厂、河南洛阳单晶硅厂等四家企业能够生产多晶硅,总共年生产能力不超过230吨,实际年生产量只能达到100吨。参考下表:
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生产厂家
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能力(吨)
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产量(吨)
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河南洛阳单晶硅厂
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20
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20
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四川峨嵋半导体材料厂
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100
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57
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上海棱光实业公司
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95
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8
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四川重庆天元化工厂
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15
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5
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合 计
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230
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100
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今年初四川省在峨嵋半导体材料厂的基础上拟投资11.92亿元人民币,引进消化吸收俄罗斯多晶硅技术,建设年产1000吨多晶硅生产线,预计2005年投产并进入商业运行。即便如此,我国多晶硅的生产仍远远满足不了国内市场的需求。随着芯片产业迅猛发展,缺口只能越来越大。为满足国内外多晶硅市场的要求,适应芯片产业发展的需求,引进美国世界一流技术年产1000吨多晶硅项目,发展我国多晶硅产业,已成为国内IC产业发展的当务之急。
3、国内芯片产业方兴未艾
随着我国加入WTO,芯片产业发展迅速。国家相继批准了上海、西安、无锡、北京、成都、杭州、深圳等七个市为生产芯片基地。一批大的芯片项目正在启动,我国将形成以北京为中心的北方半导体基地,以上海为中心的华东半导体基地,以西安为中心的西北半导体基地等三大基地并存的局面。“九五”期间,国家投入12.05亿美元在上海浦东建设一条超大规模集成电路生产线,国内主要集成电路骨干企业如无锡华晶、首钢日电、绍兴华越、上海先进、贝岭等相继着手生产线升级更新建设,春兰集团也着手筹建新的生产线。2001年初,首钢与美国AOS半导体合资的北京华夏半导体制造有限公司已破土动工,该企业投资13.35亿美元生产8英寸0.25μm芯片的月投片能力4.5万片的生产线,计划到2010年还建设4-6条生产线,月投片能力将达到24到30万片,总投资额达100亿美元。
此外,硅太阳能电池列为国家重点发展计划,“蓝牙”的无线通信技术正在迅速推进市场,这一切进一步加剧了多晶硅市场供不应求的矛盾。据专家预测,到2010年,国内对多晶硅的需求将超过3000T,因此,国内尽快发展多晶硅产业势在必行。
4、国外多晶硅生产技术出现向外转移的趋势
生产多晶硅是高科技项目,同时又是高耗能项目。目前世界上最先进的技术,每生产1kg多晶硅耗电130kwh,电费占总成本的比重很大。随着世界性石油资源的日渐枯竭,能源危机使石油价格大幅度上涨,导致电价的上涨,多晶硅生产成本也相应大大增加,西方这些发达国家已经不愿意继续在这种高耗能产业上增大投入,有向发展中国家转移的趋势。这对我国引进多晶硅生产线也是一个很好的机遇。
三、多晶硅市场现状与预测
1、多晶硅市场供不应求
据调查,多晶硅的需求市场旺盛,呈不断上升趋势。1975年全球多晶硅产量1700吨,1995年上升为4500吨,1995年虽已增至11500吨,需求却高达13000吨。2002年国际多晶硅市场需求量多达2.5万吨,总产量预测却2万多吨;我国2002年IC产量已超过50亿块,多晶硅需求1000多吨,而产量仅100吨。国际市场需求量现在以每年10-12%的速度增长,据此速度预测,到2005年,全球需求将达27000吨,2010年将达60000吨,缺口超过万吨以上。
日本是亚洲最大的多晶硅生产国,1996年产量达到3880吨,2002年产量预测可实现5700吨。但国内仍然缺口很大,还需大量进口,多次在我国寻求货源。不仅日本,亚太地区特别是台湾、新加坡、韩国等地,都是多晶硅的主要需求地。仅以韩国为例,1999年其多晶硅年需求量为2000T,2001年超过了4000吨。而韩国至今不能生产多晶硅,完全依靠进口。
2、多晶硅市场发展预测
今后几十年内,世界经济技术发展的中心将转移到亚洲及太平洋地区。而经济技术发展的基础必需依托于信息产业。环环相扣的产业链,势必促成这些地区多晶硅规模市场的形成。半导体产品的生产工厂,主要集中在欧美和亚太地区。当前,全球规划或试产中的12英寸晶园厂有30多家,分别设于台湾、日本、新加坡、韩国、美国和德国,其中24家在亚洲,而且台湾新建19家。可见亚太地区特别是台湾、新加坡、韩国等地,将成为多晶硅的主要需求地。2000年,亚太地区半导体产品的产量达到全球总产量的33%以上,超过欧美,居全球第一。而该地区半导体产品生产厂又多集中于台湾、韩国、日本、新加坡、马来西亚及中国大陆和香港,这些国家和地区中,除日本和中国大陆外,都不生产多晶硅,这就给处于亚太地区的我们提供了巨大商机,我们直接面对全球最大的多晶硅市场,只要保证多晶硅产品纯度,1000吨的产品销售,是远远不够的。
四、引进多晶硅生产线的关键技术及产品质量
1、目前世界最先进的技术
美国年产1000吨多晶硅生产线核心技术,包括湿氮除硼的三氯氢硅(SiHCl3)提纯技术,提高还原炉单产、节约电耗的大型还原炉技术、提高氢气和氯化氢气回收率的还原炉尾气回收技术、四氯化硅氢化技术等都是世界最一流的技术。
其生产工艺如下:
石英在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅,其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑
为了满足半导体级高纯度的需要,必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成三氯氢硅(SiHCl3)。其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑
在此基础上还需要进一步提纯,经过一系列化学分离提纯工艺除去一些电活性杂质,碳和过渡元素杂质,才能使SiHCl3 的纯度达到半导体级的标准要求。
多晶硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成。其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。经过如此提纯工艺技术,可生产出半导体级高纯硅SiHCl3、SiH2Cl2及光纤级高纯硅SiCl4。
2、世界一流的产品质量
多晶硅的纯度要求相当之高,也是质量的关键。引进美国世界一流技术生产的多晶硅产品其纯度达到十一个九,受主杂质含量为0.05—0.1PPba(PPba为十亿分之一原子比),即P型电阻率5400—2700欧姆·厘米;
施主杂质含量为0.05—0.4PPba,即n型电阻率不小于500欧姆·厘米;
重金属杂质含量,即Fe、Ni、Cr、Cu总和在晶体内不超过1—10 PPba,在晶体表面不超过2—10 PPba,碱金属杂质含量在晶体内应<1.0 PPba,在晶体表面应<1.5 PPba;
碳含量为0.1-0.2PPma(PPma为百万分之一原子比)。
五、多晶硅生产的原料及能源供应
1、生产原料
生产多晶硅的重要原料是工业硅、液氯、氢气。
工业硅、液氯、氢气在我国很多省份均有生产,其原料来源不成问题。
2、电力供应
多晶硅生产耗电量大,年产1000吨多晶硅生产线其供电装机容量为9.8万KW,用电负荷为4.5万KW,年总用电量为2.5亿度。
解决电的供应及合理的电价是保证该条生产线实现预期效益的关键。
六、项目总投资及经济效益分析
1、项目总投资
引进美国年产1000吨多晶硅生产线总投资约需13亿元人民币。其投资主要来源于国际商业货款,部分由新建多晶硅厂抵押,部分由有担保能力的单位担保。
2、经济效益分析
该项目若保证0.25元/度电价,单位产品成本为254元/kg,则该项目投资利税率为19.7%,投资利润率为17.6%,总投资回收期含建设期为7年零1个月,不含建设期仅为5年零7个月。
七、风险及对策
由于该条多晶硅生产线是由美国公司承建,为交钥匙工程,由承建方负责整条生产线的建设,直到投产达产达到产品质量标准。因此,建设风险不大。关键是该条生产线投产后能否稳定生产,并做到逐步消化吸收掌握其关键技术,成为国内自主知识产权。这就需要组织国内外一批多晶硅生产和研发的精英来进行实施,并达到国内外一流的管理水平。否则,后续生产风险很大。
除此,必须保证电的价格,并保证连续稳定供电。如电价控制在0.24元/度,则单位成本可控制在254元/kg,投资利润率税前可达19.7%,税后亦可达到17.6%。如电价每度提高0.05元,则投资利润率随之下降0.6%。虽然利润率下降幅度不大,但影响国外投资商对该项目的投资信心,影响国外融资。因此,国外投资商投资的基本条件是电价必须控制在0.24元/度以下。
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